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杜邦 VPF 1525半导体真空泵油科慕润滑油

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详细说明

    产品性能:

化学稳定性：非常稳定，耐强酸，包括极强的路易氏酸，耐强碱。与接触的任何特种气体如氟气，SIH4等，强腐蚀性物质，强氧化剂，还原剂等均不发生反应；

不燃烧性：不含氢元素，耐氧化，不会燃烧，无闪点，无自燃点，可避免任何火灾隐患，达到半导体行业安全性的要求.

热稳定性：极低的蒸发率和降解率，等够避免任何残留物质的形成而影响半导体工业中反应室的纯净度及高真空度的维持。

卓越的润滑性能：尤其在比较宽的操作温度范围，在高负载，高压强的情况下，杜邦1525均具有良好的润滑性能，能够减少磨耗，尤其对于真空泵及压缩机等设备维持良好的运行性能等非常重要。

粘度和蒸汽指标稳定可靠：能够保持极低的回流率，从而能够持续地保证系统的高真空度。







适用范围:

Krytox VPF 1525适用于半导体工业真空泵油，它得到世界著名真空泵制造商的认可，如莱宝Leybold、爱德华Edwards、荏原Ebara等的认可。

Krytox VPF 1525尤其适用于半导体芯片加工过程中的蚀刻和沉淀过程特种气体处理。







包装规格:1KG/罐

 
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